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重磅:中科院极紫外光源研究取得重大突破,国产光刻机真要来了!

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极紫外光(euv)是一种波长特别短的光,波长只有13

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uva led紫外光源的特点及应用领域

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又通常被称为euv光刻机,它以波长为10~14纳米的极紫外光作为光源的光

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紫外线匀光光源uv面光源圆环形直径80mm均匀光365nm准直光源

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清华光刻新技术有进展,中国版极紫外光刻机能颠覆技术封锁吗

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被低估的紫外线led灯:能杀死冠状病毒和艾滋病病毒

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紫外线手电筒能看到紫色光的原因正品紫外线手电都这样吗

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product:the uv aging test chamber

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2 xuv光源

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进展

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紫外光源用于紫外线诱导实验

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国科大环境材料与污染控制技术研究中心成功研制新型极紫外光源

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探秘光刻机的心脏:极紫外线的生成与挑战

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项目投资15亿元,占地面积140亩,将建设极紫外阿秒光源等五类阿秒光源

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螨虫最大的天敌可不是暴晒:在屋里摆些它,螨虫全都消失了

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阿斯麦公司生产的极紫外光刻机可以看出,它的光源和控制软件来自美国

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光刻机前沿技术:多孔透镜聚焦极紫外辐射

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美国再次阻挠,中国购买5nm极紫外光刻机无望,纯国产替代可能吗

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近日,清华大学研发成功一种全新极紫外(euv)光源技术ssmb

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大连光源:世界上最亮的极紫外光源丨镇站之宝

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中国再创第一! 研制最亮极紫外光源 [20170116]

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微波无电极紫外光源

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专题封面

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亮点综述

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euv光源135纳米的极紫外光是如何产生的?

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